新闻分类

News list
当前位置:首页 > 公司新闻 > 详细内容

半导体真空阀门的密封方式有哪些

时间:2019-05-08      来源:http://www.kvtscn.com/news/26.html

半导体设备的使用要求也是比较高的,一般都要求是高真空,而高真空的环境要求洁净度高、水蒸气很少,有一个半导体真空阀门产品,这种阀门的密封方式有哪些呢?是否与普通的阀门一样呢?一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体, 在低漏率真空条件下, 这些气体不易外泄, 设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物, 保证工艺人员的安全。但是随着生产设备数量的增加, 以及新工艺对设备要求的提高, 真空故障随之增加。

1、真空泵

半导体设备上常用的真空泵有旋片真空泵、罗茨泵、干泵、分子泵和冷泵等。扩散泵已经很少使用。旋片真空泵可以接上N2 气镇, 防止被抽气体在泵油中凝结; 接过滤器, 过滤泵油中的杂质; 接油雾过滤器和自动回油装置, 减少油的损耗。旋片真空泵分成普通型和防腐型。使用的油也分为普通真空泵油和防腐真空泵油, 这两种油不能混合使用。罗茨泵主要功能是在低真空下增加抽气速度。干泵的使用越来越多, 它使用小量的防腐真空泵油, 但是抽真空部分不含油。分子泵是靠高速旋转的叶片和静止叶片一起将气体抽走来产生高真空。

2、真空计和真空部件

常见真空计有电阻真空计( 皮拉尼真空计) 、热电偶真空计、电容真空计、电离真空计、冷阴极电离真空计和全量程真空计等。其中冷阴极电离真空计又分为潘宁规、磁控管规和反磁控管规三种。全量程真空计是低真空计和高真空计的组合; 电阻真空计量程宽, 比较常用; 热电偶真空计量程窄, 结构简单, 不易损坏; 电容真空计测量值不受气体种类的影响; 电离真空计属于高真空计,会发热; 冷阴极电离真空计属于高真空计, 不发热, 易维修; 全量程真空计自动量程切换, 使用方便。

半导体真空阀门

现在的大多数真空计探测头和信号处理电路做在一起, 这样能提高抗干扰能力并且促进其小型化。大多数探测头使用金属材质而不是玻璃材质,这样更结实小巧。真空计显示控制器也要求小型化, 有的做到了体积为105 mm × 110 mm × 250 mm,质量为1.3 kg, 带3 个接头, 每个接头可以接电阻真空计或冷阴极电离真空计等, 这种智能型真空计控制器携带和使用都很方便。

真空阀门的密封方式有: 可伸缩波纹管、可伸缩叠片波纹管、PTFE 或PFA 垫片、旋转轴密封圈、/ O型密封圈等。波纹管密封件寿命比较长, 但是一旦出现问题, 维修起来很麻烦, 需要使用专用的激光焊接机, 旋转传动装置常使用磁流体密封件。真空室上接有许多接头, 常见的接头有ISO-KF 接头、ISO 接头、CF 接头、VCR 接头、VCO 接头和卡套接头等。要求每个接头的漏率[5 ×10- 10 Pa.m3/ s。

压力低于大气压,而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米2。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ +150℃的范围。

半导体设备可以通过冷泵的使用,通过在泵内冷头上产生11 K 左右的极低温度, 再加上吸附阱对气体进行吸附, 来达到抽高真空的目的。冷泵是由冷泵和高效He 压缩机组成。半导体真空阀门更详细的内容,请继续关注我们的网站!


相关标签:半导体真空阀门,

联系我们

来自新时代的共鸣,无数企业用户的选择

联系人:鲜于经理

手机: 15961701200

电话: 0510-83711123

邮箱: junnan@kvtscn.com

地址: 无锡新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园E2-108