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半导体真空阀门配件及维修分享真空应用的分类方法及相关介绍

时间:2021-04-26      来源:http://www.kvtscn.com/news/65.html

现在我们的电子半导体行业的发展是比较迅速的,大家也都有听说过半导体真空阀门,那知道它们的分类吗?其实它们的类别还是比较多的,比如说按照真空进行分类的话有中高真空、工艺真空或是清扫真空等,同时还可以按照真空泵进行分类,除此之外还有按照真空系统进行分类的,下面就让半导体真空阀门配件及维修的小编来为大家介绍电子半导体行业真空应用的一些知识。

一、按真空分类

1.生产真空为(中高真空):生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少,保持工作空间的洁净,主要使用的真空泵类型包括干泵(干式螺杆真空泵、爪式泵)和分子泵及其机组。

2.工艺真空(粗真空):工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持,螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、微油螺杆泵。

3.清扫真空(粗真空):清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清理或输送,此类应用主要采用水环泵和多级离心风机。

二、按真空泵类型

较早时,油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,比较主要的特点是真空度高,能满足新兴行业的特殊工艺要求,其中又以旋片式真空泵和往复式真空泵为主要代表。因不能抽水蒸气和可凝性气体及易腐蚀性气体等受限,但随着真空泵的研发生产技术提升,转而采用清洁;安全;耐磨;造价低;维修方便;性能稳定;振动小,噪音低等优势的干式真空泵,就满足半导体行业工艺要求。

三、按真空系统

半导体真空阀门配件及维修

真空系统是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

四、半导体行业真空系统

电子半导体行业要求真空系统大体分为三个等级:1、清洁条件下的抽气,只抽干空气或含少许水蒸气的空气。2、中等条件下的抽气,抽除工艺过程的反应气体,但无固体颗粒物。3、恶劣条件下的抽气,抽除化学反应物(有毒甚至致癌)及固体颗粒物。

通过半导体真空阀门配件及维修小编的介绍大家对这个行业应该有了一定的了解。我们知道可以按照真空泵类型进行分类,那么真空泵在使用的时候需要注意什么呢?我们需要注意温度情况,真空泵的温度不宜过高,还需要注意真空泵的氧气浓度以及定期对真空泵进行清理清毒等。


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