固化扩散灯罩

RTP LAMP HOUSING是利用蜂窝式卤钨灯,用最短的时

间高温热处理晶元的设备,应用于氧化工艺。RTP设备的

优点在于快速加热及快速冷却,节俭热损消耗。



CENTURA radiance rtp system   PART NO. 0040-88855


Vantage radiance plus RTP system   PART NO. 0040-70247

时间:2019-3-13 0:00:00
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