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全自动插板阀（加热款）

材质：AL /SUS

用途：CVD、ETCH、DIFF、T/F等

作用：PUMP上方，防止倒灌

控制器：外接控制器

加热温度：150℃

法兰口径：ISO 100/160

真空漏率：< 1·10-8 mbar · L /S

开合时间：≤0.3S

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