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手动插板阀 ISO100
手动插板阀ISO160
气动插板阀
全自动插板阀（一体型）
全自动插板阀（标准型）
全自动插板阀（加热款）

手动插板阀 ISO100

材质SUS用途CVD、ETCH、DIFF、T/F等
作用PUMP上方，防止倒灌驱动方式机械式，手动开合
法兰口径ISO 100/160真空漏率< 1·10-8 mbar · L /S

手动插板阀ISO160

材质SUS用途CVD、ETCH、DIFF、T/F等
作用PUMP上方，防止倒灌驱动方式机械式，手动开合
法兰口径ISO 100/160真空漏率< 1·10-8 mbar · L /S

气动插板阀

材质AL6061用途、
作用、驱动方式气动
法兰口径KF40/KF50可定制真空漏率< 1·10-8 mbar · L /S

全自动插板阀（一体型）

材质AL /SUS用途CVD、ETCH、DIFF、T/F等
作用PUMP上方，防止倒灌控制器MN控制器
法兰口径ISO 100/160真空漏率< 1·10-8 mbar · L /S
开合时间≤0.3S

全自动插板阀（标准型）

材质AL /SUS用途CVD、ETCH、DIFF、T/F等
作用PUMP上方，防止倒灌控制器外接控制器
法兰口径ISO 100/160真空漏率< 1·10-8 mbar · L /S
开合时间≤0.3S

全自动插板阀（加热款）

材质AL /SUS用途CVD、ETCH、DIFF、T/F等
作用PUMP上方，防止倒灌控制器外接控制器
加热温度150℃法兰口径ISO 100/160
真空漏率< 1·10-8 mbar · L /S开合时间≤0.3S