逆止阀
| 材质 | AL6061,SUS | 用途 | CVD、ETCH、DIFF、T/F等 | | 作用 | PUMP上方，防止倒灌 | 驱动方式 | 机械式 |
| 法兰口径 | ISO 80/100/160 | 真空漏率 | < 1·10-8 mbar · L /S |
| 开合时间 | ≤0.05S | | |
逆止阀
| 材质 | AL6061 | 用途 | / | | 作用 | / | 驱动方式 | 机械式 |
| 法兰口径 | ISO 80/100可定制 | 真空漏率 | < 1·10-8 mbar · L /S |
KV-S02系列门阀
| 材质 | AL/SUS | 用途 | TM/PM腔传输阀直线式运动 | | 驱动方式 | 齿轮组+气缸 | 开口尺寸 | 8寸/12寸 |
| 真空漏率 | < 1·10-8 mbar · L /S | 寿命 | ≥ 200万 |
KV-S02系列门阀
| 材质 | AL /SUS | 用途 | TM腔传输阀直线式运动 | | 驱动方式 | 气动 | 开口尺寸 | 8寸/12寸 |
| 真空漏率 | < 1·10-8 mbar · L /S | 寿命 | ≥ 200万 |
KV-S03系列门阀
| 材质 | AL /SUS | 用途 | TM/PM腔传输阀直线式运动 | | 驱动方式 | 气动 | 开口尺寸 | 8寸/12寸 |
| 真空漏率 | < 1·10-8 mbar · L /S | 寿命 | ≥ 200万 |
KV-S0705系列门阀
| 材质 | AL /SUS | 用途 | Loadlock腔传输阀L式运动 | | 驱动方式 | 气动 | 开口尺寸 | 8寸/12寸可定制 |
| 真空漏率 | < 1·10-9 mbar · L /S | 寿命 | ≥ 200万 |
KV-S0403系列门阀
| 材质 | AL /SUS | 用途 | PM腔传输阀L型运动 | | 驱动方式 | 气动 | 开口尺寸 | 8寸/12寸 |
| 真空漏率 | < 1·10-9 mbar · L /S | 寿命 | ≥ 200万 |
KV-S0530系列门阀
| 材质 | AL /SUS | 用途 | PM腔传输阀L型运动 | | 驱动方式 | 气动 | 开口尺寸 | 8寸/12寸 |
| 真空漏率 | < 1·10-9 mbar · L /S | 寿命 | ≥ 200万 |
