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超高真空插板阀（二位置侧气缸）
超高真空插板阀（三位置，侧气缸）
超高真空插板阀（三位置，下气缸）

超高真空插板阀（二位置侧气缸）

材质AL / SUS用途ALD/PVD/薄膜沉积/刻蚀等设备
驱动方式气动法兰口径DN160/DN200
真空漏率< 1·10-9 mbar · L /S寿命50000次

超高真空插板阀（三位置，侧气缸）

材质AL / SUS用途ALD/PVD/薄膜沉积/刻蚀等设备
驱动方式气动法兰类型CF-F 160
真空漏率< 1·10-9 mbar · L /S寿命50000次

超高真空插板阀（三位置，下气缸）

材质AL /SUS用途ALD/PVD/薄膜沉积/刻蚀等设备
驱动方式气动法兰口径DN160/DN200
真空漏率< 1·10-9 mbar · L /S寿命50000次