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三通阀
加热三通阀

加热三通阀

材质SUS用途CVD、ETCH、DIFF、T/F等
作用Sc rubber端，驱动方式气动
法兰口径KF40/KF50/KF80可定制真空漏率< 1·10-8 mbar · L /S
温度≤180℃