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加热三通阀

材质：SUS

用途：CVD、ETCH、DIFF、T/F等

作用：Sc rubber端，

驱动方式：气动

法兰口径：KF40/KF50/KF80可定制

真空漏率：< 1·10-8 mbar · L /S

温度：≤180℃


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