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超高真空插板阀（三位置，下气缸）

材质：AL /SUS

用途：ALD/PVD/薄膜沉积/刻蚀等设备

驱动方式：气动

法兰口径：DN160/DN200

真空漏率：< 1·10-9 mbar · L /S

寿命：50000次

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