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逆止阀

材质：AL6061,SUS

用途：CVD、ETCH、DIFF、T/F等

作用：PUMP上方，防止倒灌

驱动方式：机械式

法兰口径：ISO 80/100/160

真空漏率：< 1·10-8 mbar · L /S

开合时间：≤0.05S

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