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半导体真空阀门配件及维修分享真空阀门的密封方式

时间:2020-06-22      来源:http://www.kvtscn.com/news/55.html

真空设备其中包括真空计,而真空计有分为很多种,比如说电阻真空计( 皮拉尼真空计) 、热电偶真空计、电容真空计、电离真空计、冷阴极电离真空计和全量程真空计等。而这些真空计你又有哪些了解呢?半导体真空阀门配件及维修今天来为您分享真空阀门的密封方式吧!

常见真空计有电阻真空计( 皮拉尼真空计) 、热电偶真空计、电容真空计、电离真空计、冷阴极电离真空计和全量程真空计等。其中冷阴极电离真空计又分为潘宁规、磁控管规和反磁控管规三种。全量程真空计是低真空计和高真空计的组合; 电阻真空计量程宽, 比较常用; 热电偶真空计量程窄, 结构简单, 不易损坏; 电容真空计测量值不受气体种类的影响; 电离真空计属于高真空计,会发热; 冷阴极电离真空计属于高真空计, 不发热, 易维修; 全量程真空计自动量程切换, 使用方便。

半导体真空阀门配件及维修

现在的大多数真空计探测头和信号处理电路做在一起, 这样能提高抗干扰能力并且促进其小型化。大多数探测头使用金属材质而不是玻璃材质,这样更结实小巧。真空计显示控制器也要求小型化, 有的做到了体积为105 mm × 110 mm × 250 mm,质量为1.3 kg, 带3 个接头, 每个接头可以接电阻真空计或冷阴极电离真空计等, 这种智能型真空计控制器携带和使用都很方便。

真空阀门的密封方式有: 可伸缩波纹管、可伸缩叠片波纹管、PTFE 或PFA 垫片、旋转轴密封圈、/ O型密封圈等。波纹管密封件寿命比较长, 但是一旦出现问题, 维修起来很麻烦, 需要使用专用的激光焊接机, 旋转传动装置常使用磁流体密封件。真空室上接有许多接头, 常见的接头有ISO-KF 接头、ISO 接头、CF 接头、VCR 接头、VCO 接头和卡套接头等。要求每个接头的漏率[5 ×10- 10 Pa.m3/ s。

真空阀门的密封方式介绍就是这些,你会不会因为这样的密封方式而选择购买真空阀门呢?无锡凯必特斯半导体科技有限公司免费为您提供半导体加热带、半导体金属加热板、半导体真空阀门部品等产品的相关资讯和产品报价!敬请关注!


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