产品中心
Product Center门阀
优势特点（Advantages and Features）
通过阀体与执行腔体相互搭配，可分别应用于8寸及12寸装备。
齿轮型:机械性传动，结构稳定，使用寿命长通过肉眼或触摸方式确认阀门作动状态。
VERTICAL TYPE式运动开合
气缸型:结构简化，维护方便，增加Air FailInteriock，可通过LED显示灯确认阀门作动状态。
KVTS Slit Valve零部件全部国产化，供货周期短，售后响应及时，减少维修时间。
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| 齿轮型 | 气缸型 | 垂直式开合 |
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项目 |
区分 |
齿轮型 |
气缸型 |
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开口尺寸 （高X宽）mm
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8‘ |
32X222mm |
32X222mm |
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50X336mm |
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50X336mm |
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12‘ |
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泄漏率 (mbar ls-1) |
Valve Body |
< 1 × 10-8 |
< 1 × 10-8 |
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Seat |
< 1 × 10-8 |
< 1 × 10-8 |
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硬质氧化（定制款） |
< 1 × 10-5 |
< 1 × 10-5 |
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压差 |
Gate |
≤ 1.2 bar |
≤ 1.2 bar |
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Open |
≤ 30 mbar |
≤ 30 mbar |
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材质 |
Valve Body |
AL6061+SUS304 |
AL6061+SUS304 |
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Plate |
AL6061 |
AL6061 |
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Actuator |
AL6061 anodised |
AL6061 anodised |
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Bellows |
AM350 |
AM350 |
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Bonnet |
AL6061 |
AL6061 |
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Sealing |
FKM/FFKM可选 |
FKM/FFKM可选 |
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操作压力 |
0.4~0.6MPA |
0.4~0.6MPA |
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作动时间 |
0.6~1s |
0.6~1s |
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接口 |
D-SUB 9PIN |
D-SUB 9PIN |
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输入电压 |
24V DC |
24V DC |
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TEMP
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Body |
- |
- |
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Actuator |
- |
- |
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驱动方式 |
垂直 |
垂直 |
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KVTS KV-S0340
优势特点（Advantages and Features）
通过阀体与执行腔体相互搭配，可分别应用于8寸及12寸装备
VERTICAL TYPE式运动开合
气缸型：结构简化，维护方便，增加Air FailInteriock，可通过LED显示灯确认阀门作动状态。
KVTS Slit Valve零部件全部国产化，供货周期短，售后响应及时，减少维修时间。
通过对密封面的优化漏率可以达到1 × 10-8 mbar，可用到PM腔。
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开口尺寸 |
50 x 336 mm 至 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" to 3.15" x 19.69") |
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驱动器 |
气动 |
双作用，带位置指示器 |
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阀体材料 |
铝或硬质阳极氧化铝 |
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馈通件 |
波纹管 |
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压力范围 |
铝 |
1 × 10-8 mbar to 1.1 bar (绝对压强) |
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硬质阳极氧化铝（定制） |
1 × 10-6 mbar to 1.1 bar (绝对压强) |
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阀板可承受压差 |
阀门 |
1.1 bar |
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打开时 |
≤ 30 mbar |
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**维护前开关次数 |
≥ 300万 |
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温度 |
阀体、阀板 |
≤ 120 °C |
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驱动器 |
≤ 80 °C |
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加热和冷却速率 |
≤ 40 °C h-1 |
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材料 |
阀体、阀板、检修盖 |
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315) |
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波纹管端件 |
AISI 316L (1.4404) |
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波纹管 |
AISI 633 (AM 350) |
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密封 |
阀板、检修盖 |
氟橡胶 （FFKM可选） |
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安装位置 |
驱动器可向上或向下安装 |
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脉冲电磁阀 |
24 VDC, 2.5 W (可根据要求提供其他值） |
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位置指示器：触点额定值 |
电压 |
≤ 50 V AC/DC |
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电流 |
≤ 0.1 A |
≤ 5 mA |
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连接 |
9 针 D 形超小型连接器 |
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压缩空气连接 |
快速连接器外径为 6 mm |
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KVTS KV-0750
优势特点（Advantages）
极大减少颗粒物产出性
运行时间长
运行可靠性设计
精确的L-MOTION运动
均匀密封压缩
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KVTS KV-S0402
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尺寸 |
46x236mm至 50x336mm (1.81"x9.29" to 1.97" to 13.23") |
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驱动器 |
气动 |
双作用，带位置指示器 |
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阀体材料 |
铝 |
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馈通件 |
波纹管 |
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泄漏率 |
阀体 |
< 1×10-9mbar ls-1 |
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阀座 |
< 1×10-9mbar ls-1 |
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压力范围 |
1×10-9 mbar to 1.2 bar（绝对压强） |
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压差 |
阀板上 |
≤ 1.2 bar |
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打开时 |
≤ 30 mbar |
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**维护前开关次数 |
≥ 300万次 |
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温度 |
阀体 |
≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ |
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阀板 |
≤ 50℃ 至 ≤ 120℃ |
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加热和冷却速率 |
≤ 40 °C h-1 |
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阀座/阀板温差 |
< 40 °C |
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材料 |
阀体、阀板、检修盖 |
EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211) |
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轴、波纹管端件 |
AISI 316L (1.4435) |
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波纹管 |
AISI 633 (AM 350) |
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密封 |
阀盖 |
氟橡胶（可选FFKM) |
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阀板 |
氟橡胶（可选FFKM) |
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安装位置 |
驱动器可向下安装 |
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脉冲电磁阀 |
24 VDC，2.5 W（可根据要求提供其他值） |
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位置指示器：触点额定值 |
电压 |
≤ 50 VDC |
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电流 |
≤ 250 mA |
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电源 |
≤ 10 W |
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连接 |
9 针 D 形超小型连接器 |
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压缩空气连接 |
未配备电磁阀 |
内部螺纹 ⅛“ ISO/NPT |
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配备电磁阀 |
内部螺纹 M5 |
KVTS KV-S0403参数
优势特点（Advantages and Features）
正常运行时间长/性能不受限。
可在腐蚀性工艺条件下实现可靠运行。
采用避免粒子生成和产生的L-MOTION技术。
压杆可以使阀板压力均匀分布
波纹管密封的轴馈通件。
免维护周期延长
平滑且低冲击的运动
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开口尺寸 |
50 x 336 mm 至 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" to 3.15" x 19.69") |
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驱动器 |
气动 |
双作用，带位置指示器 |
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阀体材料 |
铝或硬质阳极氧化铝 |
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馈通件 |
波纹管 |
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泄漏率 |
L 型运动（见术语表） |
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压力范围 |
铝 |
1 × 10-8 mbar to 1.1 bar (绝对压强) |
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硬质阳极氧化铝（定制） |
1 × 10-6 mbar to 1.1 bar (绝对压强) |
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阀板可承受压差 |
阀门 |
1.1 bar |
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打开时 |
≤ 30 mbar |
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|
**维护前开关次数 |
≥ 300万 |
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温度 |
阀体、阀板 |
≤ 120 °C |
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驱动器 |
≤ 80 °C |
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|
加热和冷却速率 |
≤ 40 °C h-1 |
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材料 |
阀体、阀板、检修盖 |
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315) |
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波纹管端件 |
AISI 316L (1.4404) |
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波纹管 |
AISI 633 (AM 350) |
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密封 |
阀板、检修盖 |
氟橡胶 （FFKM可选） |
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|
安装位置 |
驱动器可向上或向下安装 |
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脉冲电磁阀 |
24 VDC, 2.5 W (可根据要求提供其他值） |
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|
位置指示器：触点额定值 |
电压 |
≤ 50 V AC/DC |
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|
电流 |
≤ 0.1 A |
≤ 5 mA |
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|
连接 |
9 针 D 形超小型连接器 |
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|
压缩空气连接 |
快速连接器外径为 6 mm |
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KVTS KV-S0503
优势特点（Advantages and Features）
正常运行时间长/性能不受限。
可在腐蚀性工艺条件下实现可靠运行。
采用避免粒子生成和产生的L-MOTION技术。
压杆可以使阀板压力均匀分布
波纹管密封的轴馈通件。
免维护周期延长
平滑且低冲击的运动
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|
开口尺寸 |
50 x 336 mm 至 80 x 500 mm (1.97" x 13.23" 至 3.15" x 19.69") |
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驱动器 |
气动 |
双作用，带位置指示器 |
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阀体材料 |
铝或硬质阳极氧化铝 |
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馈通件 |
波纹管 |
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密封技术 |
L 型运动（见术语表） |
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阀体和阀座的泄漏率 mbar ls-1 |
密封面 |
O-ring |
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FKM |
阀座 |
FFKM |
阀座 |
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阀体 |
(FKM Zalak 5100) |
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阀体 |
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压力范围 |
铝金属 (铣削/球形抛光） |
< 1 × 10-9 |
< 1 × 10-9 |
< 1 × 10-8 |
< 1 × 10-7 |
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硬质阳极氧化铝(定制） |
< 1 × 10-5 |
< 1 × 10-4 |
< 1 × 10-5 |
< 1 × 10-4 |
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阀板可承受压差 |
1.1 bar |
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打开时可承受压差 |
≤ 30 mbar |
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**维护前开关次数 |
≥ 300 万（** DN 50 × 336 mm） |
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|
≥ 200 万（DN 80 × 500 mm） |
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温度 |
阀体、阀板 |
≤ 120 °C |
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|
驱动器 |
≤ 80 °C |
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|
加热和冷却速率 |
≤ 40 °C h-1 |
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|
材料 |
阀体、阀板、检修盖 |
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315) |
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|
波纹管端件 |
AISI 316L (1.4435，1.4404) |
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波纹管 |
AISI 633 (AM 350) |
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|
密封 |
阀板、检修盖 |
氟橡胶 |
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|
安装位置 |
驱动器可向上或向下安装 |
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|
脉冲电磁阀 |
24 VDC, 2.5 W (可根据要求提供其他值） |
||||
|
位置指示器：触点额定值 |
电压 |
≤ 50 V AC/DC |
|||
|
电流 |
≤ 0.1 A，> 5 mA |
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|
连接 |
9 针 D 形超小型连接器 |
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|
压缩空气连接 |
快速连接器外径为 6 mm |
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