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快速截止阀 气动插板阀 手动插板阀
手动插板阀ISO160
气动插板阀

手动插板阀ISO160

材质SUS用途CVD、ETCH、DIFF、T/F等
作用PUMP上方，防止倒灌驱动方式机械式，手动开合
法兰口径ISO 100/160真空漏率< 1·10-8 mbar · L /S

气动插板阀

材质AL6061用途、
作用、驱动方式气动
法兰口径KF40/KF50可定制真空漏率< 1·10-8 mbar · L /S