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氮气加热器 N₂ Heater 金属加热盘 Metal Heater 扩散固化灯罩 RTP Lamp Housing
氮气加热气
氮气加热气
蜂窝氮气加热气

氮气加热气

用途厂务端材质SUS
流量50L /min-100L /min设计使用温度300℃
法兰口径KF40/KF50可定制

氮气加热气

用途PECVD等设备材质SUS
流量30L /min设计使用温度180℃
使用气体N2,O2，H2，teos ，sih4

蜂窝氮气加热气

用途/材质AL6061
流量50L /min-100L /min设计使用温度/
替代原厂PART N0.839-059874-401