产品中心
Product Center逆止阀
应用背景（Application Background）
在没有进行周期更换PUMP上，常因PUMP不预期停机，导致气体回灌，腔体污染，从而导致不良品发生。同时还要对已污染腔体，进行清洁保养，严重影响生产计划，降低产能。
KVTS CHCEK VALVE通过简单的机械结构，当PUMP异常停机时，阀门下端气压大于上端气压，阀体内部活动密封板上升，阀门可以做到立即关闭，预防气体回灌，并短时保 压。主要用在CVD、ETCH、DIFF等POWDER工艺和腐蚀工艺(300mm、450mmprocess 、LCD line)
逆止阀参数（Chcek Valve Parameter）
型号Model | KVTS-QSV-XX(法兰尺寸大小Fange size) |
阀体Valve body | 铝(阳极氧化)Aluminum(Anodized) |
密封板Sealing board | 铝(阳极氧化)Aluminum(Anodized) |
导向装置Guiding device | SUS |
法兰型号Flange model | KF/IS0 |
密封Seal | FKM(可选Optional) |
泄露率Leakage rate | <3.5x10-mbar |
安装方向Installation direction | 垂直Vertical |
关闭时间Closing time | <0.03seo |
关闭条件Closig condition | 阀门上下两端压力差≥0.1Tor |
加热款逆止阀（Chcek Valve Heater Type）
可调节温度Adjustabletemp. | ≤150℃ |
加热套厚度Heating jacket thickness | 可以定做Customizable |
加热套尺寸Heating jacket size | 可以定做Customizable |
加热器作用Heater function | 减少powder黏附，增加PM周期 |
