手动插板阀

应用背景(Application Background)

半导体工艺过程中，需要定期对设备腔体及真空管道进行清洁保养，必须关闭 PUMP 才可进行。由于启动电流较大，频繁再启动降低PUMP 使用寿命。同时 PUMP 频繁启动，容易造成旋片卡死，造成不可逆转损毁。

KVTS  MANUAL  GATE  VALVE直接安装于PUMP 上方，预期停机保养时，可直接 关闭，将真空管道与PUMP 完全隔离，无需关闭PUMP 电源，延长使用寿命。

产品特点（Features）

●自然柔和的Open/Close动作。

●机械式传动，内部轴承运转平稳。

●因精巧的卡环设计，震动也无法消除Locking结构。

●可通过Indicator确认阀门位置。

产品规格（Product Specification）