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Product Center超高真空插板阀
应用背景（Application Background）
HV/UHV GATE VALVE是一种广泛应用于半导体制造、涂层技术、核能工业和其他高精密度工程领域的阀门。其主要作用是控制气体或液体在真空环境下的流量和压力，从而确保生产过程中的稳定性和可靠性。主要用于ALD/PECVD设备、CVD刻蚀设备
主要特点：
优质波纹管密封阀
无冲击，且振动极小。
不锈钢材质的阀体，具有耐腐蚀性。
机械锁处于闭合位置。
DN63-320，带FKM O形环闸封
气动、两位置/三位置致动器
提供ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS法兰选项。
选项：自定义法兰
可提供定制的开口尺寸。
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| 下气缸 | 侧气缸 |
产品规格（Product Specification）
项目 | 10846系列 | 10844系列 |
KVTS P/N | KPGV-ISO-F200/SS-01 | KPGV-ISO-F160/SS-01 |
Actuators驱动器 | Pneumatic气动: double acting双作用 3-position pneumatic3位气动: double acting双作用 | |
法兰口径 | 10846系列 | DN200 |
10844系列 | DN160 | |
Feedthrough | bellows | |
Flange Type法兰类型 | ISO-F/CF-F/ASA-LP/JIS | |
Leak rate泄漏率 | Body/阀体 | <5·10-10mbar·L/S |
Seat/阀座 | <1·10-9mbar·L/S | |
内腔**压力 | ≤1.6 bar | |
Temperature温度 | Valve body/阀体 | ≤250℃ open ≤250℃ closed |
Pneumatic actuator 气动执行器 | ≤200℃ | |
Material/材料 | Valve body/阀体 | SUS 304 |
Withstand voltage/ 耐压 | 使用耐压范围 | 1·10-10mbar-1.2bar |
Seal密封 | Gate/门 | FKM |
Bonnet/阀盖 | Metal | |
Intake pressure/进气压力 | CDA/大气压 | 4-7bar |
Position indicator 位置指示器 | 24 V DC/5 to 40 mA | |
指示灯 | 红光发光二极管（LED）亮起时亮起 | |
可替代VAT系列 | 10846系列 | 10846-UE28-AVN2 10846-UE24-ALK1 10846-PE24-ATU2 |
10844系列 | 10844-CE44-ASG1 10844-PE24-0005 | |
